半導(dǎo)體工業(yè)通常使用高純度水，以確保半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)質(zhì)量和性能。在半導(dǎo)體工業(yè)中，常用的水質(zhì)處理工藝包括反滲透（RO）和去離子（DI）工藝，這兩種工藝通常結(jié)合使用，以獲得超高純度水（UPW，Ultra-Pure Water）。

恒大興業(yè)環(huán)保分析，半導(dǎo)體工業(yè)的高純度水制備通常按照以下步驟進(jìn)行：

反滲透（RO）處理：

RO工藝用于去除水中的大部分溶解物質(zhì)和離子。RO膜是半透膜，可以阻止大多數(shù)離子和溶解物質(zhì)通過，從而提高水的純度。

RO處理通常能夠去除大多數(shù)溶解的離子、有機(jī)物和微生物。

去離子（DI）處理：

DI工藝是進(jìn)一步提高水質(zhì)的步驟，通過去除剩余的離子和溶解物質(zhì)來生成高純度水。

常見的DI工藝包括混床離子交換，其中帶有陽離子和陰離子交換樹脂的混床用于去除殘余的離子，確保水的純度達(dá)到要求。

附加處理：

在RO和DI工藝之后，可能會使用一些其他處理步驟，如活性炭過濾、微生物控制和在線監(jiān)測，以確保超高純度水的質(zhì)量和穩(wěn)定性。

半導(dǎo)體工業(yè)需要極高純度的水，因?yàn)槲⑿〉碾s質(zhì)可以對半導(dǎo)體器件的制造和性能產(chǎn)生重大影響。因此，RO和DI工藝通常結(jié)合使用，以生成符合半導(dǎo)體工業(yè)要求的高純度水。這種高純度水不僅用于洗滌和清洗半導(dǎo)體器件，還用于蝕刻、光刻、電鍍等關(guān)鍵工藝步驟。